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ISO 14644-1 清浄度クラスの上限濃度(個/m³)について

クリーンルームの清浄度規格としては米国連邦規格Federal STD-209シリーズが長く使用され、1CFft3)中の0.5μm以上粒子が何個であるかという規格(Class1001,00010,000など)が使用されてきました。

現在はISO14644-1:1999 Clean rooms and associated controlled enviromments-Part-1:Calassification of Air Cleanliness)が清浄度評価方法を含めて唯一の国際規格となっています。

ISO Classにおける粒径と上限粒子個数濃度の関係はC=10N×0.1/d2.08 (Cは空気13あたりの上限粒子個数濃度、Nは清浄度クラス、dは粒径μm)となり、Class表示は有効数字2桁まで表すことができます。

パーティクルカウンターについてはISO21501 -1および-2が国際規格として定められるようになりました。

 

 

清浄度クラス 上限濃度(m³)
     ISO14644-1  Fed.Std-209E 0.1µm 0.2µm 0.3µm 0.5µm 1µm 5µm
 Class1    10          
Class2   100 24 10      
Class3 Class1 1,000 237 102 35    
Class4 Class10 10,000 2,370 1,020 352 83  
Class5 Class100 100,000 23,700 10,200 3,520 832  
Class6 Class1,000  1,000,000   237,000   10,2000 35,200 8,320

293

Class7 Class10,000       352,000 83,200

2,930

Class8 Class100,000       3,520,000 832,000 29,300
Class9         35,200,000  8,320,000  293,000