CMP/精密研磨/各種清浄度測定/圧力分布測定
Machplaner™シリーズはサファイア基板c面・a/r面用の各種ラインナップがございます。また、サファイア以外の様々な基板に効果的な万能スラリーです。高研磨レートでありながら、ダメージフリーな表面品質が得られます。
MS2020 は研磨時の振動無く高い研磨レートが得られます。
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