CMP/精密研磨/各種清浄度測定/圧力分布測定 

石英/ガラス用研磨スラリー 

Machplaner™ST2000シリーズ

ST2000シリーズは石英/ガラス仕上用のスラリーです。高研磨レートかつ低ディフェクト性能の両立が可能です。

Machplaner™ST2010

ST2010は高研磨レート性能に優れたスラリーです。

Machplaner™ST2015

ST2005とST2010の中間性能の位置づけになります。高研磨レートかつ低ラフネスでバランスのよいスラリーです。2液混合タイプです。