CMP/精密研磨/各種清浄度測定/圧力分布測定 

多結晶基板向けスラリー 

粒界段差が発生しやすい多結晶基板には、中性のスラリーが最適です。不沈降タイプのダイヤスラリー等幅広いラインナップがございますので、お気軽にご相談ください。