CMP/精密研磨/各種清浄度測定/圧力分布測定

研磨パッド貼付剥がし工具

研磨パッド貼付け工具

研磨パッド貼付け時のエア噛み防止、作業効率・貼付け精度の向上に

・耐摩耗性・耐薬品性に優れた材料を使用

・作業性に優れた形状のグリップ

・貼付面直径:5インチ

パッドエア抜きローラー

パッド貼付け時のエア噛み防止に…大幅な時間短縮が可能

・パッドの離型紙にローラを転がしてください。

・貼りつけ時に、エアを逃がしパッド貼付け平坦化を実現します。

・幅広タイプのご用意もございます。

パッド剥がし工具 

研磨パッド交換時の労力の軽減に

研磨パッドの交換時の労力を最小限に抑える工具です。

スリット部分にパッドを挟み込み、回転させることで省力でパッドを剥がすことが可能です。

お客様のパッド径・定盤径に合わせて製作します。

お気軽にお問合せください。