CMP/精密研磨/各種清浄度測定/圧力分布測定

MH™/EXTERION™パッド (ノンセリウム)ニッタ・ハース社製

MH™/EXTERION™パッドは独自のポリウレタン配合技術と発泡技術に基づいて設計された、各種基板・シリコン研磨用ポリウレタンパッドです。

掲載している標準品以外にも、硬度や発泡率などの違いにより高研磨レートやスクラッチ低減など、お客様のご要望に合わせた仕様もご用意しておりますので、お気軽にお問い合わせください。

MH™/EXTERION™物性表(ノンセリウム)

パッドサイズについて

φ201~φ1605mmまで※1の円形で、研磨機の定盤径+10mm程度を目安に直径をご指定下さい。また半月型や正方形・長方形での製作も可能です。定盤貼付け用の両面テープ付きで製作致します。

 ※1・・・これ以上のサイズについてもご相談下さい。

パッド表面加工について

パッド表面に溝加工を施すことでスラリーの回り込みが改善され、さらに高均一な研磨性能が発揮されます。またスラリー供給穴加工や、両面研磨機用にドーナツ型に打ち抜くことも可能です。