CMP/精密研磨/各種清浄度測定/圧力分布測定

スラリーの取扱い

希釈について

研磨スラリーには、原液での使用から数十倍までの推奨希釈倍率が設定されておりますのであらかじめご確認ください。また、希釈時ご不明場合は弊社までお問合せください。

(例:純水20倍希釈の場合、希釈用純水19ℓへスラリー1ℓを静かに注ぎ入れてください。)

流量について

研磨スラリーの流量が不十分な場合、研磨屑の排出不足や砥粒の凝集によるスクラッチ・研磨レートの低下などの原因となります。流量が多すぎる場合には、冷却効果によってレート低下になる恐れがあります。個々の条件に応じて適切なスラリー流量をご調整下さい。

撹拌について

酸化セリウム砥粒など沈降しやすい砥粒のスラリーは、容器内を常時撹拌させながら使用してください。また、研磨装置の配管内でも沈着しやすい傾向があるので常時循環させるなどの対策をお勧めいたします。

保管条件について

容器は密閉し、直射日光及び高温を避け、冷暗所で保管をお願いいたします。ただし凍結は厳禁となります。

冬季寒冷地等で凍結したスラリーは砥粒凝集等によりスクラッチ等の不具合を引き起こし、使用できなくなる可能性がございます。

倉庫内でも保管場所にはご注意願います。

使用済廃液処理方法について

SDS(MSDS)をご用意しております。お手元にない場合は弊社までご相談ください。

荷姿例

20kgペール容器

右の荷姿(20㎏ペール容器)以外にも200㎏ドラムや1000㎏

コンテナのご用意もございます。