CMP/精密研磨/各種清浄度測定/圧力分布測定

ワーク保持材

表面に無数の涙滴型空隙をもち、純水で研磨物を吸着・保持。
お客様ご希望の仕様に設計。

バッキング材・T/A(テンプレート・アッセンブリ)

バッキング材及びT/A(テンプレート・アッセンブリ)はシリコンウェーハやガラス基板等、様々な研磨物をワックスを使用せず純水だけで研磨ヘッドに保持できる製品です。

お客様の研磨条件に最適なバッキング材を選択することでにより平坦性が向上します。

※ご使用の際には、余分な水をスキージしてからご使用ください。

バッキング材 Rシリーズ

バッキング材Rシリーズは表面に無数の涙滴型空隙を持ち、純粋によって研磨物を吸着・保持させるシートです。裏面の粘着テープにより研磨機ヘッドへの貼付けも容易です。

構造と物性によりタイプが分かれていますので選定にあたってはご気軽にご相談ください。

各種特徴

R301:軟らかさに重点を置いた、最も圧縮率の高いタイプです。

R302:R301とR303の中間特性となるバランスタイプです。

R303:適度な硬さと十分な水平吸着力を持ったタイプです。

R305:最も硬く、強い垂直吸着力をもった緻密発泡タイプです。

R601:親水性に優れた軟らかめのタイプです。

R703:製造工程の最適化によりフィルム厚みばらつきが低減し、デプスが安定したタイプです。

T/A テンプレート・アッセンブリ

T/A(テンプレート・アッセンブリ)は、バッキング材と研磨中のウェーハ飛び出しを防止するためのガイド枠(ブランク材)が一体となっている製品です。

研磨物の交換やメンテナンスがし易くなっています。

T/A テンプレート種類

IC-TA(リセス〈穴形〉が丸状のタイプ)

LCD-TA(リセス〈穴形〉が角状のタイプ)