CMP/精密研磨/各種清浄度測定/圧力分布測定

インテリマー™テープ

温度変化によって『粘着⇒非粘着』へ、WAX洗浄工程の削減が可能
強力な固定力と優れた寸法安定性によって加工精度が向上

インテリマーテープは特殊なポリマーを使用した、温度変化に応じて『粘着』⇒『非粘着』に変化する新しいタイプの粘着テープです。研削・ラップ・研磨工程からダイシングなど、強い固定力が必要な工程に適しています。

また、ウェーハ裏面研磨・バックポリッシュ時のデバイス面保護テープとして、他にも洗浄時やエッチング時の保護テープ用途としても活用可能です。

作業環境や作業工程に応じてこれらを使い分けることにより、作業の合理化や省資源に貢献。また、繰返し使用可能なタイプでは、資源の保護や環境問題への配慮など、省資源・省コストを実現します。

インテリマーテープの特徴

強力な接着力が発現する為、加工精度が向上します。

糊残りが極めて少なく、剥離後の洗浄は大幅に削減・省略可能です。

ウェーハの微細加工が必要な電子部品のダイシング工程、研削、研磨の仮固定にも最適。

お問い合わせに際して

サンプル対応、少量からの発注も受け付けております。

お問い合わせにあたり以下の点をご教示いただけますとより精度の高いご提案が可能です。

①材質

例:シリコン、サファイア、セラミックス等

②サイズ/厚み

例:φ4インチ・100×100㎜/500µm 等

③接着面の平坦度

例:GBIR200μm以下 等

④耐熱/水濡れ可否

例:90℃まで可/純水であれば可 等

⑤台座接着面の平坦度もしくは台座詳細

例:セラミックプレート等

⑥現状の固定方法

例:固定WAX 等