CMP/精密研磨/各種清浄度測定/圧力分布測定

圧力分布測定システム(タクタイルセンサ)

圧力分布の様々な分析が可能
データ・画像・動画の保存が可能

超薄型約0.1mm厚のフィルム状センサシートに加わる圧力分布を読み取り、PC画面上において様々な表示・分析することが可能なシステムです。

半導体製造工程をはじめ、医療分野など様々な用途に使用可能です。

様々な圧力分布測定に利用可能

  • ウェーハのグラインディング・ラッピング・ポリッシング工程の圧力分布の測定
  • ウェーハの貼合わせ工程の圧力分の測定
  • 製品梱包内の落下時の圧力分布
  • 製缶等の成型プレス機の圧力分布
  • スプレー圧・ノズルからの噴霧圧の圧力分布
  • 医療分野の足圧分布、把持圧分測定
  • 各種ローラー間圧力分布
  • スキージストローク圧分布
  • スポーツ分野の防具や道具の評価

 

特徴

  • シンプルな構造で繰り返し使える、厚さ0.1mmの超薄型センサシート
  • センシングポイントは最大約2,000点。高密度な圧力分布測定が可能
  • 50kPa~20MPaまで低圧力から高圧力まで幅広いセンサシートのバリエーション
  • 測定圧力に合わせてソフトウェア側でセンサの感度調整が可能
  • 最高730Hzのサンプリングでリアルタイムに測定可能
  • 測定データはACSⅡ、AVI、JPEG、MATLAB形式での保存が可能
  • 安心サポートの日本製

測定例

システム構成

システム構成は以下の4点です。

1.ソフトウェア

2.データロガーユニット

3.VersaTec ハンドル

4.センサシート

様々な測定用途に対応したシートバリエーション

お客様の用途に合わせて様々なシート形状を選択することが可能です。

 

※右図の他にもセンサ形状がございます。        お問合せください。

構造と検出原理

  • 2枚のフィルム(PET)にそれぞれ、行、列の銀電極を配線します。
  • 銀電極の上に感圧導電性インクをコーティングします。
  • 行、列の電極の交点がセンシングポイントとなり、圧力がかかると電気抵抗値が変化します。
  • 電気抵抗値は8bitのデジタル値に変換され、パソコンに取り込まれます。
  • 測定範囲は感圧電導性インクの配合を変えることにより自由に設定できます。

 

センサシート一覧

センサタイプ センサ名称 測定ポイント数 感圧部サイズ(mm) 最大周波数(Hz) ※2台接続時
I-SCAN

I-SCAN10×10

100

12×12 3597 ※3597
I-SCAN40 1936 44×44 730 ※492
I-SCAN50 56×56 730 ※492
I-SCAN75 84×84

730 ※492

I-SCAN100 112×112 730 ※492
I-SCAN150 165×165 628 ※492
I-SCAN210 238×238 628 ※492
#5027 28.6×28.6 730 ※492
PINCH PINCH A3 264 300×82.5 2865 ※2865
#5555 2288 457×56 532 ※416
A3-40  1936 319×44 628 ※492
A4-40 220×44 628 ※492
BIGMAT BIGMAT 2112 480×440 369 ※369
C-SCAN C-SCAN12S 7744 361×361 191 ※ー
C-SCAN12E 3200 (79×45)×4 191 ※ー
C-SCAN08E  (79×45)×4 191 ※ー
HUGE-MAT HUGE-MAT 1768 884×578 255 ※255
HUGE-MAT HR800 6600 528×800 105 ※ー