CMP/精密研磨/各種清浄度測定/圧力分布測定

Water-based 凝縮粒子カウンター(10nm)

ISOクラス1やクラス2の高い清浄度環境で理想的な測定が可能
0.1CFMの流量で10nmの粒径感度
世界初!!メンテナンス6か月不要のウォーターベースクリーンルーム用CPC
クリーン環境に化学物質の排出なし

AEROTRAK®9001

AeroTrak®9001はウォーターベースで大流量、超低偽計数レベルを実現した凝縮粒子カウンター(CPC)です。特に清浄度の高い重要な製造プロセス環境を測定するために開発されました。特許取得済み技術により0.1CFM(2.83L/分)の流量で10nmの粒径感度を提供致します。

製品仕様

最小検出粒径:10nm

サンプル流量:0.1CFM(2.83L/min)

偽計数:<0.07個/28.3L(1CF)

最大可測濃度:57,000,000個/28.3L(1CF)@計数損失10%

凝縮液として超純水またはDIウォーターを使用

主なターゲット分野

半導体製造プロセス/半導体検査工程/半導体ウェーハ製造工程・ウェーハ再生工程/有機EL製造プロセス(OLED)/半導体向けプロセスガス

特徴

AeroTrak®9001はウォーターベースでは唯一層流式のトリプルディテクター搭載の革新的な設計により、偽計数率が非常に低く大流量、幅広い自己判断機能によって超クリーンな環境でも適正な測定を行うことができます。

また、高圧ディフューザー(HPD)AeroTrak7950と併用することで高圧ガス配管内のナノ粒子の測定も可能となります。更にAeroTrak®9001はクリーンルームの重要な製造プロセスを継続的に監視できるように連続6か月メンテナンスをせずに稼働できる世界初のウォーターベースのクリーンルーム用CPCです。

当然アルコールやその他の非ウォーターベースの凝縮粒子カウンターとは異なり、クリーンな環境に化学物質を排出しません。

機能

最小検出粒径:10nm

サンプル流量:0.1CFM(2.83L/min)

偽計数:<0.07個/28.3L(1CFM) 低い偽計数レートにより清浄度の高い環境でも正確なデータを                  提供します。

凝縮液として超純水又はDIウォーターを使用し、クリーン環境に化学物質を排出しません。

測定条件登録・データ保存件数:ゾーン250件、ロケーション999件、測定データ10,000件

データ出力・通信:USBケーブル、USBメモリ、イーサネット(Modbus-TCP)