CMP/精密研磨/各種清浄度測定/圧力分布測定

SQUADROドレス方法のご説明

ご準備いただくもの

  • スクアドロパッド
  • 水(純水を推奨します)
  • ドレッシングリング♯400(オプション)
  • ドレッシングリングをつける水と容器

※ドレス前はパッドとドレッシングリングを十分濡らした状態でご使用ください。

SQUADROのドレス方法

SQUADROのドレッシングは、ドレッシングリングを推奨いたします。

全体が均一になるように動かしながらドレスをしてください。推奨時間は15~30秒程度です。水をかけ流しながらドレッシングを行ってください。ドレッシングリングの推奨加重は0.5~1N/cm2程度です。

 

ドレスストーン
ドレスリング

SQUADROのドレス前とドレス後の表面状態

パッド立ち上げ時は、ドレッシングリングで表面をドレスしてください。表面についているレジン部分(0.02mm程度)を取り除きダイヤを表面に出す目的です。ご使用するラップ機に応じて写真2または写真3の状態までドレスをしてください。

  • 片面ラップ機⇒【写真2】のように、少し網目が残っている状態までドレスをしてください。
  • 両面ラップ機⇒平行度が厳しい製品の場合は、【写真3】にように完全に網目が消えるまで実施してください。(最大30秒程度)

※初期ドレスをすると表面の平行度が向上しますが、同時に製品の寿命にも影響しますので、求められるスペックに合わせてドレス時間を調整ください。

【写真1】ドレス前の表面状態(ご使用前)
【写真2】片面機使用時のドレス後
【写真3】両面機使用時のドレス後