CMP/精密研磨/各種清浄度測定/圧力分布測定

ガラス基板研磨

ガラス基板の研磨用途にご使用頂ける製品です。 LCD用ガラス基板、水晶基板、ガラスディスク、フォトマスクなどの平坦化研磨において優れた性能を発揮します。

ガラス基板用研磨スラリー

Machplaner™シリーズ

高品質な表面が要求されるガラス基板研磨等に用いられる、コロイダルシリカやアルミナを主成分としたスラリーです。高研磨レート・低欠陥性に優れており、お客様からの高度な要求にお応えいたします。

ガラス基板用研磨パッド

EXTERION™シリーズ

EXTERION C™シリーズは、優れた発泡コントロール技術から生まれたポリウレタン発泡パッドです。ガラス基板などの一次研磨に使用し、さらに各種研磨用砥粒を併用することで、高品位な仕上がり面と信頼性の高い研磨性能を得ることができます。また特殊な加工技術により優れた厚み精度と立ち上げ性能を発揮します。

Supreme™シリーズ

Supreme RN-H™は、ポリウレタン発泡層を有する二層構造パッドです。LCDガラス基板などの仕上げ研磨や平坦化研磨に適用できます。平坦性を維持しつつ、高い平滑性、低欠陥性などの優れた研磨特性を実現します。