クリーンルームの清浄度規格としては米国連邦規格Federal STD-209シリーズが長く使用され、1CF（ft3）中の0.5μm以上粒子が何個であるかという規格（Class100、1,000、10,000など）が使用されてきました。

現在はISO14644-1:1999 （Clean rooms and associated controlled enviromments-Part-1:Calassification of Air Cleanliness）が清浄度評価方法を含めて唯一の国際規格となっています。

ISO Classにおける粒径と上限粒子個数濃度の関係はC=10N×（0.1/d）2.08 (Cは空気1ｍ3あたりの上限粒子個数濃度、Ｎは清浄度クラス、dは粒径μm）となり、Class表示は有効数字2桁まで表すことができます。

パーティクルカウンターについてはISO21501 -1および-２が国際規格として定められるようになりました。