CMP/精密研磨/各種清浄度測定/圧力分布測定 

Machplaner™MS3000シリーズ 

2液混合のLT/LN用スラリーです。粒度分布コントロールによる機械的研磨作用とケミカルによる化学的研磨作用のバランスを最適化したスラリーです。詳細につきましては、お問合せ願います。