CMP/精密研磨/各種清浄度測定/圧力分布測定 

常時多点監視用パーティクルカウンター

クリーンルーム内の清浄度測定は必要箇所すべてをリアルタイムに常時監視するのが最善ですが、コストとのバランスも重要です。

測定したい点数、測定粒子径と予算に応じ1台のカウンターで複数個所を監視する「流路切替型多点監視システム(FMS-M」や、小型カウンターをポイント毎に設置する「常時測定型 多点監視システム(FMS-I)」を豊富な実績をもとにご提案します。また、医薬品工場で求められるIQ/OQなどバリデーション業務にも対応します。

多点監視 デジタル通信

クリーンルームや製造装置等の清浄度を無人で連続監視が行えます。

測定ポイント毎に設置するパーティクルセンサは、Ethernetポートを備え、測定した微粒子数と機器の状態をデータ収集用PC(ソフトウェア)やModbus/TCPに対応したペーパーレスレコーダーにデジタル伝送します。アナログ通信タイプもございますので、お気軽にご相談ください。

対象のパーティクルカウンター 
・ポンプ外付けタイプ 7310,7510,7110(28.3L/min) 7201,7301,7501(2.83L/min)
・ポンプ内蔵タイプ  6310,6510

多点監視 流路切替方式(マニホールドタイプ)

クリーンルームや製造装置等の清浄度をパーティクルカウンター1台で複数個所を順次切替え測定するシステムです。

1システムで最大32カ所測定することができます。サンプリングチューブは各50mまで伸長可能です。測定中以外の箇所も常に空気を吸引することで、サンプリングチューブ内に微粒子沈着することを抑制しています。測定データは、清浄度監視用パソコンにデジタル伝送され、粒子数/トレンドグラフ/マップ画面の表示、測定値異常やシステム異常時に警報を出力させることが可能です。

対象のパーティクルカウンター 
・9110(粒径最小0.1µm~)・9310(粒径最小0.3µm~)

校正期間:標準2週間

●購入を検討されているお客様へデモ機貸出・操作説明対応

●バリデーション(CSV,IQ/OQ)対応

●校正周期:1年に1回以上を推奨

●校正期間:標準2週間(事前予約で納期短縮も相談可)

●校正・修理・メンテナンス:奈良サービスセンター 東京サービスセンター