最小可測粒径0.1µm パーティクルカウンター
AeroTrak™9110
定格流量：28.30L/min(1CF/min)
粒径区分：0.1/0.15/0.2/0.25/0.3/0.5/1/5µmを同時測定
半導体前工程等で求められる超清浄区域の清浄度測定・清浄度監視に最適。
日本語タッチパネルと軽量ボディ、内臓リチウムイオンバッテリーにより誰でもどこでも測定可能です。
ISO14644Class1からClass5相当のスーパークリーン区域の測定に適します。
仕様
| 型式 | Model 9110 |
| 最小可測粒径 | 0.1µm |
| 粒径区分 | 0.1/0.15/0.2/0.25/0.3/0.5/1.0/5.0µm |
| 試料吸引量 | 28.3 L/min |
| 最大可測粒子濃度 ※同時通過損失10%以下 | 100,000個/28.3L |
| 偽計数 | 5分あたり1個以下(JIS B9921対応) |
| 光源 | HeNeレーザー |
| 光学方式 | 側方光散乱方式 |
| 最大サンプリングチューブ長 | ８ｍ |
| 画面 | QVGA 5.7インチカラータッチディスプレイ (Microsoft Windows CE) |
| 寸法(W×D×H)mm | 206×522×236 |
| 重量 | 12.7㎏(バッテリー4個装着時)、11.1kg(バッテリー無し) |
| 電源電圧/周波数 | AC100 ～240V 50-60Hz |
| バッテリー | 脱着可能 リチウムイオンバッテリー |
| バッテリー駆動時間 | 連続使用にて約４時間（バッテリー4個装着時) |
| 使用環境 | 温度10～35℃ 湿度20～95％(結露無き事） |
| 排気口フィルタリング | HEPAフィルタ内蔵 |
| 通信インターフェース | Ethernet(ネットワーク)USB(データダウンロード) |
| データ保存 | 10,000回 |
| プリンタ | 感熱プリンタ内蔵 |
| 測定時間 | 1秒～99時間 |
| 測定サイクル | 1～9999回または連続測定 |
| アラーム設定 | 各粒径ごとに個数入力(音量：最大85㏈） |
| 測定場所登録 | 最大999件 (16文字以内) |
| 筐体材質 | ステンレス |
校正期間:標準2週間
●購入を検討されているお客様へデモ機貸出・操作説明対応
●バリデーション(CSV,IQ/OQ)対応
●校正周期:1年に1回以上を推奨
●校正期間:標準2週間（事前予約で納期短縮も相談可)
●校正・修理・メンテナンス:奈良サービスセンター 東京サービスセンター