CMP/精密研磨/各種清浄度測定/圧力分布測定 

製品一覧

リテーナーリング

各社CMP装置に対応   高い品質とコスト効果を発揮    

リテーナーリングxメンブレン

メンブレンを備えた  リテーナーリング            メンブレンのみの個別 対応可能

コンディショニングブラシ

各社装置に最適化された コンディショニングブラシ

 COOLING PLATE

各社エッチング装置に 対応可能

材料一覧

 〇金属 METAL

ステンレス鋼・ 炭素鋼 アルミニウム・ 銅・
チタン・ インコネル
〇エンプラ  PLASTIC
PEEKPPSPET (Ertalyte)・トーロン・
デルリン・PI/PAI・ベスペル・PP・アセタール・
ECTFE・ナイロン・PTFEPCTFEPVCPU
 
 

安定的で優れた品質

日本をはじめ世界中のデバイスメーカー様への実績と安定した品質。                                 純正品同様に三次元測定機・光学式測定・白色干渉計等で出荷前検査。                              カスタマーログインポータルより各種レポートもダウンロード可能。                        

コストダウンに貢献

製品設計・材料選択を見直すことで、大幅なコストダウンに貢献します。

各社CMP装置に対応

各社CMP装置ごとにジャストフィットするリテーナーリングをご用意しております。また加工プロセスに合わせた、材質・デプス・溝形状の変更にもお応えできます。                           

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(ご依頼製品/装置名/ワークサイズ/厚み/材質等)

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