各社CMP装置に対応 高い品質とコスト効果を発揮
メンブレンを備えた リテーナーリング メンブレンのみの個別 対応可能
各社装置に最適化された コンディショニングブラシ
各社エッチング装置に 対応可能
〇金属 METAL
日本をはじめ世界中のデバイスメーカー様への実績と安定した品質。 純正品同様に三次元測定機・光学式測定・白色干渉計等で出荷前検査。 カスタマーログインポータルより各種レポートもダウンロード可能。
製品設計・材料選択を見直すことで、大幅なコストダウンに貢献します。
各社CMP装置ごとにジャストフィットするリテーナーリングをご用意しております。また加工プロセスに合わせた、材質・デプス・溝形状の変更にもお応えできます。
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