CMP/精密研磨/各種清浄度測定/圧力分布測定
・耐摩耗性・耐薬品性に優れた材料を使用
・作業性に優れた形状のグリップ
・貼付面直径:5インチ
・パッドの離型紙にローラを転がしてください。
・貼りつけ時に、エアを逃がしパッド貼付け平坦化を実現します。
・幅広タイプのご用意もございます。
研磨パッドの交換時の労力を最小限に抑える工具です。
スリット部分にパッドを挟み込み、回転させることで省力でパッドを剥がすことが可能です。
お客様のパッド径・定盤径に合わせて製作します。
お気軽にお問合せください。
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