CMP/精密研磨/各種清浄度測定/圧力分布測定

インテリマー™テープ

温度変化によって『粘着⇒非粘着』へ、WAX洗浄工程の削減が可能
強力な固定力と優れた寸法安定性によって加工精度が向上

インテリマーテープは特殊なポリマーを使用した、温度変化に応じて『粘着』⇒『非粘着』に変化する新しいタイプの粘着テープです。研削・ラップ・研磨工程からダイシングなど、強い固定力が必要な工程に適しています。

また、ウェーハ裏面研磨・バックポリッシュ時のデバイス面保護テープとして、他にも洗浄時やエッチング時の保護テープ用途としても活用可能です。

作業環境や作業工程に応じてこれらを使い分けることにより、作業の合理化や省資源に貢献。また、繰返し使用可能なタイプでは、資源の保護や環境問題への配慮など、省資源・省コストを実現します。

インテリマーテープの特徴

強力な接着力が発現する為、加工精度が向上します。

糊残りが極めて少なく、剥離後の洗浄は大幅に削減・省略可能です。

ウェーハの微細加工が必要な電子部品のダイシング工程、研削、研磨の仮固定にも最適。

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