圧力分布測定システム(タクタイルセンサ）
様々な圧力分布の分析が可能
CSV・画像・動画形式の保存が可能
φ100mmウエハを手で押し当て測定した動画(3D表示)
超薄型約0.1mm厚のフィルム状センサシートに加わる圧力分布を読み取り、PC画面上において様々な表示・分析することが可能なシステムです。
半導体製造工程をはじめ、医療分野など様々な用途に使用可能です。
使用可能温度0～60℃(耐熱タイプもございます)
I-SCANシステム概算価格:230万円～
※仕様により価格が変わりますので、お問い合わせください。
お客様の装置への組み込み等、開発案件も是非お問い合わせください。
センサシートの形状等、装置ニーズに合わせて新規開発も検討可能です。
2分でわかる!!タクタイルセンサ簡単動画
様々な圧力分布測定に利用可能
- ウェーハのグラインディング・ラッピング・ポリッシング工程の圧力分布の測定
- ウェーハの貼合わせ工程の圧力分の測定
- 製品梱包内の落下時の圧力分布
- 製缶等の成型プレス機の圧力分布
- 医療分野の足圧分布、把持圧分測定
- 各種ローラー間圧力分布
- スキージストローク圧分布
- スポーツ分野の防具や道具の評価
特徴
- シンプルな構造で繰り返し使える、厚さ0.1mmの超薄型センサシート
- センシングポイントは最大約2,000点。高密度な圧力分布測定が可能
- 50kPa～20MPaまで低圧力から高圧力まで幅広いセンサシートのバリエーション
- 測定圧力に合わせてソフトウェア側でセンサの感度調整が可能
- 最高730Hzのサンプリングでリアルタイムに測定可能
- 測定データはACSⅡ、AVI、JPEG、MATLAB形式での保存が可能
- 安心サポートの日本製
測定例
システム構成
システム構成は以下の4点です。※High Speed I-SCANの場合
１．ソフトウェア(PCはお客様ご用意)
２．データロガーユニット
３．VersaTec ハンドル
４．センサシート
※I-SCANシステムの場合、PC(お客様ご用意)･Evolutionハンドル･センサシートです。
構造と検出原理
- ２枚のフィルム（PET）にそれぞれ、行、列の銀電極を配線します。
- 銀電極の上に感圧導電性インクをコーティングします。
- 行、列の電極の交点がセンシングポイントとなり、圧力がかかると電気抵抗値が変化します。
- 電気抵抗値は8bitのデジタル値に変換され、パソコンに取り込まれます。
- 測定範囲は感圧電導性インクの配合を変えることにより自由に設定できます。
様々な測定用途に対応したシートバリエーション
お客様の用途に合わせて様々なシート形状を選択することが可能です。
※詳細は以下のセンサシート一覧をご覧ください。
センサシート一覧
| センサタイプ | センサ名称 | 測定ポイント数 | 感圧部サイズ(mm) | 分解能(mm) | 最大測定圧力(kPa) | システム |
| I-SCAN | I-SCAN10×10 | 100 | 12×12 | 1.27 | (2.5) 250 | I-SCAN or HIGH SPEED I-SCAN |
| I-SCAN40 | 1936 | 44×44 | 1 | (H) 500 | ||
| I-SCAN50 | 56×56 | 1.27 | (2.5) 250 (H) 700 (R) 3500 | |||
| I-SCAN75 | 84×84 | 1.91 | (R) 2100 | |||
| I-SCAN100 | 112×112 | 2.54 | (0.5) 50 (H) 200 (R) 1300 | |||
| I-SCAN150 | 165×165 | 3.75 | (R) 1300 | |||
| I-SCAN210 | 238×238 | 5.41 | (0.8) 80 (H) 200 (R) 1300 | |||
| #5027 | 27.9×27.9 | 0.65 | 345 3448 | |||
| I-SCAN20-F02 | 8800 | 20×17.6 | 0.2 | 1000 | HIGH SPEED I-SCAN | |
| C-SCAN12S | 7744 | 361×361 | 4.1 | 50 | ||
| PINCH | PINCH A3 | 264 | 300×82.5 | 13.75×6.82 | 100 | PINCH or HIGH SPEED I-SCAN |
| #5555 | 2288 | 457×56 | 1.27×8.79 | 3448 | ||
| A3-40 | 1936 | 319×44 | 1.0×7.3 | 700 | ||
| A4-40 | 220×44 | 1.0×5.0 | 700 | |||
| PINCH A4-F01 | 2200 | 220×4.4 | 0.1×4.4 | 500 | ||
| PINCH A4-F03 | 2200 | 220×13.2 | 0.1×4.4 | 500 | ||
| BIGMAT | BIGMAT | 2112 | 480×440 | 10 | 20 75 150 300 | BIGMAT or HIGH SPEED I-SCAN |
| HUGE-MAT | HUGE-MAT | 1768 | 884×578 | 17 | 30 | |
| HUGE-MAT HR800 | 6600 | 528×800 | ８ | 30 600 | HIGH SPEED I-SCAN |
タクタイルセンサ 問合せフォーム
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