【Pre₋CMPスラリー】ULTRA-SOL_STD0.5m20MCH ダイヤ×コロイダルシリカ
SiCウェーハ等の硬質難研磨材料の加工に!!
Ultrasolを使用頂くことで、後工程CMPの負担の軽減が期待できます
SUBA/EXTERION等のパッドと量産実績があります
無償サンプルご用意ございますので、お気軽にお問い合わせください。
Ultrasol STD0.5イメージ図
ULTRA-SOL STD0.5μ20MCHは、コロイダルシリカにダイヤモンド砥粒をブレンドしたPre-CMPスラリーです。ダイヤモンド砥粒によって加工ワークの表面にアタックをかけ、コロイダルシリカで表面を整わせることが可能です。
このスラリーをご使用頂くことで、高い加工レートと表面品質の両立を実現し、
仕上げCMPのプロセス時間、負荷を低減することが期待できます。
量産採用実績もありますので、安心してご使用頂けます。
パッケージ単位は以下の通りです。
1ガロン(約3.8L)
5ガロン(約18.9L)
55ガロン(約208.2L)
※納期はご注文後約4週間です。
※使用期限は製造後1年間です。
加工プロセス採用例
加工レートや表面粗さ(Ra)、性能を引き出す加工条件など、、
お気軽にお問い合わせください。
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