CMP/精密研磨/各種清浄度測定/圧力分布測定

EXTERION™ Cパッド (セリウム混合)ニッタ・ハース社製

EXTERION™ Cパッド(セリウム混合)は、独自のポリウレタン配合技術と発泡技術に基づいて設計された、長年の実績があるガラス基板・水晶・石英研磨用ポリウレタンパッドです。

掲載している標準品以外にも、硬度や発泡率などの違いにより高研磨レートや傷低減など、お客様のご要望に合わせた仕様もご用意しておりますので、お気軽にお問い合わせください。

EXTERION™ C物性表(セリウム混合)Pad色:白
EXTERION™ C物性表(セリウム混合)Pad色:赤茶

パッドサイズについて

φ304~φ1460mmまでの円形※1で、研磨機の定盤径+10mm程度を目安に直径をご指定下さい。また半月型や正方形・長方形での製作も対応可能です。

定盤貼付け用の両面テープ付きで製作致します。

 ※1・・・これ以上のサイズについてもご相談下さい。

パッド表面加工について

パッド表面に溝加工を施すことでスラリーの回り込みが改善され、さらに高均一な研磨性能が発揮されます。またスラリー供給穴加工や、両面研磨機用にドーナツ型に打ち抜くことも可能です。