CMP/精密研磨/各種清浄度測定/圧力分布測定

研磨パッドの溝加工と穴加工

研磨パッドの溝加工に期待される効果は、主に2つです。

1.研磨スラリーをワーク内周部まで届かせて、均一な加工を可能にすること。

2.研磨屑(スラッジ)の排出を円滑にすること。

この2つの効果が目指すところは「中突な研磨仕上がりの防止」「総合的な研磨レートの向上」です。

XY格子溝加工は様々な溝幅や溝ピッチを揃えておりますので、ご希望の仕様をご相談ください。  またICパッドについてはXY格子溝加工だけでなくパーフォレート加工(穴加工)や同心円溝加工も可能です。また、これらを同時に組み合わせることも可能です。

各種溝加工の特徴・効果については、お気軽にお問合せください。

XY格子溝

同心円溝

パーフォレート