CMP/精密研磨/各種清浄度測定/圧力分布測定

研磨パッドとスラリーの選び方

一般的な例としては以下のマトリックスをご覧ください。

最適な研磨パッドや研磨スラリーは研磨対象物や諸条件によって異なります。下表に掲載していない製品も多数ございますので遠慮なく弊社まで御相談ください。

研磨パッド

研磨スラリー