CMP/精密研磨/各種清浄度測定/圧力分布測定

気中パーティクルカウンター

半導体・医薬品製造環境の清浄度管理に

国内の半導体工場や医薬品工場で非常に多くの採用実績を誇る米国TSI社製パーティクルカウンターです。多くのモデルで日本語タッチパネルを採用し、初めての操作でも簡単に操作いただけます。

サービスメンテナンスは35年以上の実力を誇るニッタ株式会社(東証一部)奈良工場・東京サービスセンターの2拠点体制で、バリデーション対応も含め納入時から納入後まで万全です。

東京サービスセンター、奈良工場から日本全国へ対応。

デモ機レンタル、現地打合せもご相談ください。

定期校正は2週間で可能です。1年に1回推奨いたします。

ハンドヘルド型 気中パーティクルカウンター

AeroTrak™9303

定格流量:2.83L/min (0.1 CF/min)

粒径区分:0.3/0.5/5.0µmを同時測定

軽量・シンプルで誰でも扱いやすいベーシックモデル。測定データは1,500件まで本体内メモリーされ、USBからお手元のパソコンへは21CFR Part.11 に準じた形式でデータダウンロード可能です。

医薬品や飲料充填雰囲気のClass100からClass200,000相当のセミクリーンルームまで幅広く測定可能。

ハンドヘルド型気中パーティクルカウンター

AeroTrak™9306

定格流量:2.83L /min(0.1CF/min)

粒径区分:0.3/0.5/1/3/5/10µmを同時測定          (2~5chは任意変更可)

日本語タッチパネルで簡単操作の多機能モデル。測定データは本体内へ10,000件保存され、USBメモリで直接取り出せます。オプションで温湿度計の他、外部プリンターでは過去のデータも呼び出して印刷可能です。医薬品や飲料充填雰囲気のClass100からClass20万相当のセミクリーンルームまで幅広く測定可能。バリデーションにも対応可能です。

ポータブル型 気中パーティクルカウンター

AeroTrak™9310

定格流量:28.30L/min(1.0CF/min)

粒径区分:0.3/0.5/1/3/5/10µmを同時測定

日本語タッチパネルで簡単操作の多機能モデル。リチウムイオンバッテリーやプリンタを内蔵しながら、わずか6㎏の軽量コンパクト設計です。

28.3L /minの大流量は清浄区域での安定性・再現性に優れ、また強靭なポンプは常時監視(連続モニター)にも適します。また吸引チューブは最大8mまで伸長可能、リーク試験にも使いやすくなりました。バリデーションにも対応しClass100から10万相当まで幅広く活用いただけます。

ポータブル型気中パーティクルカウンター

AeroTrak™9350

定格流量:50.0L/min(1.77CF/min)

粒径区分:0.3/0.5/1/2/3/5μmを同時測定

AeroTrak™9310の使い勝手はそのままに、50L/minまで大流量化しました。

各局ならびにPIC/Sにおける重要区分(グレードA)の認証作業に求められる測定容量を迅速に達成し、21CFR Part.11に準じた適切なデータ管理が可能です。

ポータブル型 気中パーティクルカウンター

AeroTrak™9500

定格流量:100L/min(3.53CF/min)

粒径区分:0.5/0.7/1/3/5/10µmを同時測定

AeroTrak™9310の使い勝手はそのままに、100L/minまで大流量化しました。

各局ならびにPIC/Sにおける重要区分(グレードA)の認証作業に求められる測定容量を迅速に達成し、21CFR Part.11に準じた適切なデータ管理が可能です。

ポータブル型 気中パーティクルカウンター

AeroTrak™9110

定格流量:28.30L/min(1CF/min)

粒径区分:0.1/0.15/0.2/0.25/0.3/0.5/1/5µmを同時測定

半導体前工程等で求められる超清浄区域の清浄度測定・清浄度監視に最適。

日本語タッチパネルと軽量ボディ、内臓リチウムイオンバッテリーにより誰でもどこでも測定可能です。

ISO14644Class1からClass5相当のスーパークリーン区域の測定に適します。

清浄度多点監視システム

クリーンルーム内の清浄度測定は必要箇所すべてをリアルタイムに常時監視するのが最善ですが、コストとのバランスも需要です。

測定したい点数、測定粒子径と予算に応じ1台のカウンターで複数個所を監視する「流路切替型多点監視システム(FMS-M」や、小型カウンターをポイント毎に設置する「常時測定型 多点監視システム(FMS-I)」を豊富な実績をもとにご提案します。また、医薬品工場で求められるIQ/OQなどバリデーション業務にも対応します。

無菌操作区域の微粒子清浄度管理に係る日米欧三局指針について

医薬品工場、とりわけ無菌操作区域にて遵守が求められる微粒子清浄度管理の日欧米三局指針を解説しします。