CMP/精密研磨/各種清浄度測定/圧力分布測定

気中パーティクルカウンター

半導体・医薬品製造環境の清浄度管理に 粒径10nm~10µm対応
ハンディータイプから多点監視まで幅広く対応
安心の日本語タッチパネル。高圧エア(CDA)にも減圧器で対応
国内メンテナンス35年以上の安心実績 ※日本全国へ対応

製薬工場・医薬品製造工場向けラインナップ

粒径0.5µm・5µm対応モデル

電子産業・食品・病院向けラインナップ

無菌操作区域の微粒子清浄度管理に係る日米欧三局指針について

医薬品工場、とりわけ無菌操作区域にて遵守が求められる微粒子清浄度管理の日欧米三局指針を解説しします。