CMP/精密研磨/各種清浄度測定/圧力分布測定

SQUADRO使用方法

ご準備いただくもの

  • スクアドロパッド
  • 水(純水を推奨します)
  • ドレッシングリング (オプション)
  • ナイロンブラシ (オプション)

安全にお使いいただくために

  • 保護メガネを着用ください。
  • 使用温度:定盤温度45℃以下の環境でご使用ください。  
  • ルブリカント(クーラント):これまでお使いの一般的なものをご用意ください。弊社でも販売しております。試料研削は純水でも可能です。
  • 定盤温度上昇抑制の為、ウェット状態でご使用ください。
  • 欠陥や異物などがついていない、平坦度管理された定盤の上に貼り付けてご使用ください。
  • スクアドロのベース(白い合成繊維)が見えてきましたら寿命のサインですので、新しいものと交換してください。

メンテナンス

長時間の使用で表面がぎらつき始めたり研削レートが落ちてきた場合は、パッド表面の目詰まりを水とブラシで洗い流してください。かなり摩耗がひどい場合は、ドレッシングストーンにて軽くドレスをしてください。