CMP/精密研磨/各種清浄度測定/圧力分布測定
長時間の使用で表面がぎらつき始めたり研削レートが落ちてきた場合は、パッド表面の目詰まりを水とブラシで洗い流してください。かなり摩耗がひどい場合は、ドレッシングストーンにて軽くドレスをしてください。
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