CMP/精密研磨/各種清浄度測定/圧力分布測定

CMP/研磨スラリー ニッタ・ハース社製

Nanopure™シリーズ、Machplaner™シリーズならびにILD™シリーズは、ニッタ・ハース株式会社が製造する高品質な国産スラリーです。シリコンウェーハをはじめ、酸化物・水晶・石英・サファイア・セラミックス等さまざまな材料の研磨に使用されており、研磨レート向上やウェーハ品位向上等、CoO低減に寄与します。他にも、LT(タンタル酸リチウム)/LN(ニオブ酸リチウム)・AlN(窒化アルミ)・SiC等もご用意しております。

 ・Nanopure™    ・EG1103

 ・ILD™       ・ACuPLANE™   ・Novaplane™    ・NP1000MS