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研磨パッドの貼り方と取扱い
準備
研磨パッドを貼る前に研磨装置定盤(プラテン)をエタノールで拭き取り、研磨スラリーや接着剤などの汚れと水分を十分除去します。定盤上に汚れや水分が残ったまま研磨パッドを貼付けても接着強度が不足し、研磨中のパッド剥がれの原因となります。
また、清掃後であっても定盤表面が結露している場合には、再度水分を拭き取ってください。
※研磨パッドを剥がした後の接着剤除去に最適な洗浄剤も販売しております。
貼付け
１．研磨パッドの離型紙を平坦な場所にて図.１の様に剥がして折り目を付けます。パッドを移動させるときには離型紙を剝がした部分が上になる様に両手で持ち無理な力がかからないように注意してください。
２．研磨パッドを定盤(プラテン）に置き、位置合わせを行います。
３．一部剥がした部分だけを貼付け工具を適宜用いながら定盤に貼付けます。
４．定盤を90度回転させ、図.２の様に離型紙を徐々に引っ張りながら貼付け工具で貼付けます。 ※この時エア噛が起きない様、図.３のように中心から外側へ押付けながら貼付けます。離型紙は研磨後のパッド表面保護用に再利用できますので破棄しないでください。
５．末端まで貼付けたら定盤を更に90度回転させ、同様にパッド中心から外へ押し付けながら貼り付けます。特に外周部は「浮き」や「スラリー回り込みよる剥がれ」が起きやすいので、丁寧に貼付けます。
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