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用途半導体ウェハー関連

BIGMAT・HUGE-MATシステム

超薄型約0.1mm厚のフィルム状センサシートを用いた圧力分布計測システムです。センサシート面に加わった力/圧力分布をPC画面上にてリアルタイムで確認・保存および分析することができます。センサシートはシンプルな構造で安価にも関わらず、繰り返し使用できます。またお客様のご要望に合わせたシート設計も行うことができます。センサシートを複数枚同時に使用して、大面積（最大884×1156）の圧力分布測定ができます。また、測定したデータを2Dや3Dで確認したりグラフ機能や解析機能を用いてより高度な分析をいただけます。また、ASCIIデータでエクスポートすることでにより他のプログラムにもご使用いただけます。

PINCHシステム

超薄型約0.1mm厚のフィルム状センサシートを用いた圧力分布計測システムです。センサシート面に加わった力/圧力分布をPC画面上にてリアルタイムで確認・保存および分析することができます。センサシートはシンプルな構造で安価にも関わらず、繰り返し使用できます。またお客様のご要望に合わせたシート設計も行うことができます。ロールtoロール等のニップ圧分布や線圧分布の測定に最適なシステムです。測定したデータを2Dや3Dで確認したりグラフ機能や解析機能を用いてより高度な分析をいただけます。また、ASCIIデータでエクスポートすることでにより他のプログラムにもご使用いただけます。

HIGH SPEED I-SCANシステム

超薄型約0.1mm厚のフィルム状センサシートを用いた圧力分布計測システムです。センサシート面に加わった力/圧力分布をPC画面上にてリアルタイムで確認・保存および分析することができます。センサシートはシンプルな構造で安価にも関わらず、繰り返し使用できます。またお客様のご要望に合わせたシート設計も行うことができます。 HIGH SPEED I-Scan システムでは、サンプリングレートが最大730Hzのため、今まで目には見えなかった瞬時の圧力分布の測定を実現できます。データロガーユニットを採用しているため、これまで有線では対応できなかった場所での測定が可能です。また、測定したデータを2Dや3Dで確認したりグラフ機能や解析機能を用いてより高度な分析をいただけます。また、ASCIIデータでエクスポートすることでにより他のプログラムにもご使用いただけます。

I-SCANシステム

超薄型約0.1mm厚のフィルム状センサシートを用いた圧力分布計測システムです。センサシート面に加わった力/圧力分布をPC画面上にてリアルタイムで確認・保存および分析することができます。センサシートはシンプルな構造で安価にも関わらず、繰り返し使用できます。またお客様のご要望に合わせたシート設計も行うことができます。

I-Scan システムでは、測定したデータを2Dや3Dで確認したりグラフ機能や解析機能を用いてより高度な分析をいただけます。また、ASCIIデータでエクスポートすることでにより他のプログラムにもご使用いただけます。

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