• リテーナーリング
• ワーク/ウェーハ保持

リテーナーリング

各社CMP装置にご使用いただけるリテーナーリングをご用意しております。お客様のご要望により材料、溝、サイズ、デプスなどの調整が可能です。 日本をはじめ世界中のデバイスメーカー様への実績と安定した品質を担保しており、純正品同様に三次元測定機・光学式測定・白色干渉計等で出荷前検査しております。　 その他、4インチマグネットタイプのブラシコンディショナーやエッチング装置に用いるクーリングプレートのご案内も可能です。

特長

• 01

  12・8・6・4インチに対応可能

• 02

  ご要望に合わせて、材料・溝・サイズ・デプスなどの調整が可能

• 03

  世界中のデバイスメーカーで採用実績あり