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• 独立発泡ウレタン

IC1000™ VISIONPAD™ IKONIC™

IC1000™パッドは半導体デバイスウェーハのCMPプロセスにおける研磨パッドとして、高い性能と安定性・信頼性を発揮する実績No,1の製品です。 特殊なポリウレタン材料、均一な独立発泡構造をもち、スラリーを均一に保持しながら優れた加工均一性を発揮します。 また、単層品を用いることでSiC･GaN･セラミック基板などの、長時間研磨時平坦性維持、ロールオフ抑制にも効果が得られます。