• 研磨パッド
• 研磨関連/サポート治具
• 研磨初期評価/サポートサービス

IC1000™ VISIONPAD™ IKONIC™

ニッタ・デュポン株式会社

独立発泡ウレタン

IC1000™パッドは半導体デバイスウェーハのCMPプロセスにおける研磨パッドとして、高い性能と安定性・信頼性を発揮する実績No,1の製品です。
特殊なポリウレタン材料、均一な独立発泡構造をもち、スラリーを均一に保持しながら優れた加工均一性を発揮します。
また、SiC基板、GaN基板、セラミックなど長時間研磨時の平坦性維持、ロールオフ抑制にも効果が得られます。

特長

• 01

  単層/積層構造の選択により、基板/成膜ウェーハに対応

• 02

  表面加工により研磨特性をコントロール

• 03

  ブレークイン加工(オプション)により、お客様での立上げ時間の短縮に貢献