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酸化膜研磨用スラリー

ニッタ・デュポン株式会社

ILDスラリーシリーズは、ヒュームドシリカを用いた酸化膜CMPスラリーです。一般的なコロイダルシリカスラリーでは実現困難な高研磨レートとスクラッチフリー・不純物低減を実現した業界標準のスラリーです。
ヒュームドシリカ以外の砥粒を用いたスラリーもございますので、お気軽にお問い合わせください。

特長

• 01

  独自の優れた分散･分級技術によって 粗大粒子数を低減

• 02

  砥粒の最適化により、安定性･洗浄性･ディフェクト性能が改善

• 03

  研磨パッドと合わせて提案が可能