• 研磨パッド

NOVAPLANE™

ニッタ・デュポン株式会社

NOVAPLANE™はW(タングステン)用CMPスラリーです。
高選択比/低選択比のラインナップがあり、ご要望の目標に応じてご紹介が可能です。

特長

• 01

  高希釈かつ高いレートにより、お客様の低コスト生産に貢献します

• 02

  H2O2濃度やCMP条件により、お客様の目的に応じてご提案致します

• 03

  最適なCMPパッドとの組合せのご提案致します