• 研磨パッド
• ダイヤモンドコンディショナー

ダイヤモンドコンディショナー

IC1000™、MH、EXTERION™パッドなどのウレタンパッドは、ダイヤモンドコンディショナーによりパッド使用前のブレークイン、バッチ間のコンデショニングが必須となります。
CMP装置向けの4インチディスクタイプ、φ250～270ｍｍリングタイプ、ペレットのご紹介可能です。

IC1000™パッドは、出荷前にパッド表面にバフ掛けをするPCC加工(ブレークインフリー)パッドのご案内も可能です。PCC加工によりダイヤモンドコンディショナーのロングライフ可、ブレークインタイムの短縮の効果が期待できます。
卓上研磨機やウェーハ研磨機用ににオーダーサイズでのご案内も対応可能です。

特長

• 01

  ダイヤ形状、粒径、突出量、粒度など様々なラインナップをご用意

• 02

  最先端の半導体工場でも使用実績あり。安心の性能･安定性を実現