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新しい素材を研磨する場合や研磨自体が初めての場合、研磨パッド・スラリーの選定に悩まれた経験ございませんでしょうか。 その悩み是非弊社へ一度ご相談ください。 お客様の加工ワーク(6インチサイズまで)をお預かりしたうえで、お客様のご要望に合わせて弊社エンジニアが 多数品種のパッド/スラリーから資材選定、研磨評価を実施して各組合せの研磨特徴をご提案差し上げます。 費用面等お気軽にお問い合わせください。
親水化剤は研磨後のウェーハが乾燥し、研磨砥粒やパーティクルがウェーハへ固着することを抑制することが可能です。 含有成分の非イオン界面活性剤が働き、ウェーハ表面を安定した親水状態で保護することで、優れた親水効果を期待出来ます。 使用例 ・ファイナル研磨後に研磨パッド上に滴下頂くことで、ウェーハ表面に親水膜が形成 ・洗浄待機槽に添加(希釈)頂くことで、DIWよりもパーティクル除去率の向上
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