• 洗浄/親水化剤

ウェーハ親水化剤

親水化剤は研磨後のウェーハが乾燥し、研磨砥粒やパーティクルがウェーハへ固着することを抑制することが可能です。
含有成分の非イオン界面活性剤が働き、ウェーハ表面を安定した親水状態で保護することで、優れた親水効果を期待出来ます。

使用例
・ファイナル研磨後に研磨パッド上に滴下頂くことで、ウェーハ表面に親水膜が形成
・洗浄待機槽に添加(希釈)頂くことで、DIWよりもパーティクル除去率の向上