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SUBA™

ニッタ・デュポン株式会社

不織布SUBA

SUBA™パッドはシリコンウェーハをはじめ、LT/LN・SiC・GaN・セラミック・サファイア基板まで、様々な種類の基板に対応できる研磨パッドとして、高い性能と安定性、信頼性を発揮する不織布タイプの研磨パッドです。
お客様の様々なご要望にお応えできる幅広いラインナップで理想的な研磨仕上りを達成します。

特長

• 01

  硬度、厚みなど10種類以上のラインナップをご用意

• 02

  表面加工により研磨特性をコントロール

• 03

  均一な構造により、グレーチングを抑制しロングライフを実現

• 04

  厳しい製品管理により、ばらつきのない安定した研磨性能を実現