• 研磨スラリー

ダイヤモンドスラリー/パウダー
HYPERION

ハイペリオン・マテリアルズ&テクノロジーズ

ハイペリオンダイヤモンド砥粒は、単結晶ダイヤモンド砥粒を特殊表面処理したものです。 表面の微細かつ多くの切削点により、多結晶ダイヤのような研磨性能を実現することが可能です。研磨負荷では表面の切削点の摩耗はほとんどなく、長く安定してご使用いただくことが可能です。また、価格も多結晶ダイヤモンド砥粒よりもリーズナブルです。 研磨パッドとの組合せで、CMP前にPreｰCMPとしてご活用いただくことで、トータルの研磨時間の短縮にも貢献します。

特長

• 01

  ハイペリオンダイヤ粒子は微細かつ多くの切削点があり研磨レート向上と表面粗さの低減が可能です。

• 02

  金属定盤はもちろん、SUBAやEXTERION、IC1000研磨パッドとの組合せでも良好な加工を実現します。

• 03

  最小0.25µmから各粒径ご提案可能、粒度分布も管理されており安心してご使用頂けます。