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SOLUTIONソリューション
PRODUCTS製品紹介
新しい素材を研磨する場合や研磨自体が初めての場合、研磨パッド・スラリーの選定に悩まれた経験ございませんでしょうか。 その悩み是非弊社へ一度ご相談ください。 お客様の加工ワーク(6インチサイズまで)をお預かりしたうえで、お客様のご要望に合わせて弊社エンジニアが 多数品種のパッド/スラリーから資材選定、研磨評価を実施して各組合せの研磨特徴をご提案差し上げます。 費用面等お気軽にお問い合わせください。
不織布やスウェードパッド は、ブレークインやバッチ間に純水を流しながらナイロンブラシで目立てする「コンディショニング作業」が不可欠です。 パッド表面の繊維を立たせて整える機能に加えて、パッドの汚れや異物を掻き出し排出させる機能も求められます。 アンカーテクノでは、ハンディタイプに加え、お客様研磨機に合わせたオーダーメイドのご対応も可能です。 また、ブラシ先端部の摩耗・広がりによりコンディショニング機能は徐々に低下しますが、ブラシ部分の交換(再植毛)サービスも ございますのでお気軽にお問い合わせください。
IC1000™、MH、EXTERION™パッドなどのウレタンパッドは、ダイヤモンドコンディショナーによりパッド使用前のブレークイン、バッチ間のコンデショニングが必須となります。 CMP装置向けの4インチディスクタイプ、φ250～270ｍｍリングタイプ、ペレットのご紹介可能です。 IC1000™パッドは、出荷前にパッド表面にバフ掛けをするPCC加工(ブレークインフリー)パッドのご案内も可能です。PCC加工によりダイヤモンドコンディショナーのロングライフ可、ブレークインタイムの短縮の効果が期待できます。 卓上研磨機やウェーハ研磨機用ににオーダーサイズでのご案内も対応可能です。
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