• 研磨パッド

SUBA™

ニッタデュポン製品

不織布SUBA

SUBA™パッドはシリコンウェーハやガラス基板、サファイア基板からGaN・SiC基板までさまざまな種類の基板に対応できる研磨パッドとして、高い性能と安定性・信頼性を発揮する不織布パッドです。様々な用途に対応できる幅広いラインナップで理想的な研磨仕上がりを達成します。

SUBA™シリーズは標準品だけで10種類以上のラインナップがあります。

ご相談頂ければ最適な仕様のものをご提案させて頂きますのでお気軽にお問合せください。

特長

• 01

  強力な接着力が発現する為、加工精度が向上します。

• 02

  糊残りが極めて少なく、剥離後の洗浄は大幅に削減・省略可能です。

• 03

  ウェーハの微細加工が必要な電子部品のダイシング工程、研削、研磨の仮固定にも最適。

• 04

  ウェーハの微細加工が必要な電子部品のダイシング工程、研削、研磨の仮固定にも最適。ダミー。2行以上になった場合のサンプルです。