COMPANY会社情報
SOLUTIONソリューション
PRODUCTS製品紹介
インテリマーテープは特殊なポリマーを使用した、温度変化に応じて『粘着』⇒『非粘着』に変化する粘着テープです。研削・ラップ・研磨工程からダイシングなど、強い固定力が必要な工程に適しています。 また、ウェーハ裏面研磨・バックポリッシュ時のデバイス面保護テープとして、他にも洗浄時やエッチング時の保護テープ用途としても活用可能です。 作業環境や作業工程に応じてこれらを使い分けることにより、作業の合理化や省資源に貢献。また、繰返し使用可能なタイプでは、資源の保護や環境問題への配慮など、省資源・省コストを実現します。
バッキング材及びT/A(テンプレート・アッセンブリ）はシリコンウェーハやガラス基板等、 様々な研磨物をワックスを使用せず純水だけで研磨ヘッドに保持できる製品です。 お客様の研磨条件に最適なバッキング材を選択することでにより平坦性が向上します。 ※ご使用の際には、余分な水をスキージしてからご使用ください。
各社CMP装置にご使用いただけるリテーナーリングをご用意しております。お客様のご要望により材料、溝、サイズ、デプスなどの調整が可能です。 日本をはじめ世界中のデバイスメーカー様への実績と安定した品質を担保しており、純正品同様に三次元測定機・光学式測定・白色干渉計等で出荷前検査しております。 その他、4インチマグネットタイプのブラシコンディショナーやエッチング装置に用いるクーリングプレートのご案内も可能です。
ご注文から納品、アフターフォローまでの流れをご案内いたします。
ご相談・
確認・提案
見積書の提出
ご注文
納期のご連絡
納品