• ワーク/ウェーハ保持

テンプレートアッセンブリ

ニッタ・デュポン株式会社

バッキング材及びT/A(テンプレート・アッセンブリ）はシリコンウェーハやガラス基板等、 様々な研磨物をワックスを使用せず純水だけで研磨ヘッドに保持できる製品です。 お客様の研磨条件に最適なバッキング材を選択することでにより平坦性が向上します。 ※ご使用の際には、余分な水をスキージしてからご使用ください。

特長

• 01

  お客様のウェーハ径、リセス数、デプス等のご要望に合わせて、オーダーメイドで作成可能

• 02

  バッキングパッドは複数の圧縮率ラインナップがあり、お客様のご要望に合わせて提案可能