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• 不織布SUBA

SUBA™

SUBA™パッドはシリコンウェーハをはじめ、LT/LN・SiC・GaN・セラミック・サファイア基板まで、様々な種類の基板に対応できる研磨パッドとして、高い性能と安定性、信頼性を発揮する不織布タイプの研磨パッドです。
お客様の様々なご要望にお応えできる幅広いラインナップで理想的な研磨仕上りを達成します。

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SUBA™

SUBA™パッドはシリコンウェーハやガラス基板、サファイア基板からGaN・SiC基板までさまざまな種類の基板に対応できる研磨パッドとして、高い性能と安定性・信頼性を発揮する不織布パッドです。様々な用途に対応できる幅広いラインナップで理想的な研磨仕上がりを達成します。

SUBA™シリーズは標準品だけで10種類以上のラインナップがあります。

ご相談頂ければ最適な仕様のものをご提案させて頂きますのでお気軽にお問合せください。

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