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MH ™/EXTERION ™

MH™/EXTERION™パッドは独自のポリウレタン配合技術と発泡技術に基づいて設計された、各種基板・シリコン研磨用ポリウレタンパッドです。

掲載している標準品以外にも、硬度や発泡率などの違いにより高研磨レートやスクラッチ低減など、お客様のご要望に合わせた仕様もご用意しておりますので、お気軽にお問い合わせください。

• 不織布SUBA

SUBA™

SUBA™パッドはシリコンウェーハをはじめ、LT/LN・SiC・GaN・セラミック・サファイア基板まで、様々な種類の基板に対応できる研磨パッドとして、高い性能と安定性、信頼性を発揮する不織布タイプの研磨パッドです。
お客様の様々なご要望にお応えできる幅広いラインナップで理想的な研磨仕上りを達成します。

• 独立発泡ウレタン

シリコンシリコン

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• 独立発泡ウレタン

テストシリコン
改行可能。

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• 不織布SUBA

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