• 研磨スラリー

化合物研磨スラリー

様々な化合物ウェーハ向けに最適化されたスラリーのご紹介可能です。 砥粒はコロイダルシリカ、アルミナのラインナップがあり、pHもご要望に合わせてご提案差し上げます。 対象ウェーハ SiC、GaN、サファイア(Al2O3）、GaAs、GaP、LT/LN、AlN、SiNなど