CMPスラリー・ポリッシングスラリーの取扱い【保管と廃液処理】

保管

容器は密閉し､直射日光及び高温を避け､冷暗所で保管をお願いいたします。ただし凍結は厳禁となります。冬季寒冷地等で凍結したスラリーは砥粒凝集等によりスクラッチ等の不具合を引き起こし、使用できなくなる可能性がございます。倉庫内でも保管場所にはご注意願います。

廃液処理

スラリーの中性化(アルカリ性スラリーの場合アルカリ排水用中和剤、酸性スラリーの場合水酸化ナトリウム、水酸化カルシウム等)した後、PAC(ポリ塩化アルミニウム)投入して砥粒の凝集・沈降処理、上積み液は通常排水へ、沈降分は汚泥として処分をされるケースが多くございます。地方自治体が指定するルールに基づいて適切に処理する必要があります。SDS(MSDS)をご用意しております。お手元にない場合は弊社までご相談ください。