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Machplaner™

Machplaner™は、硬質難研磨物用のスラリーとして設計されています。高い研磨性能と良好な研磨面を実現します。
希釈性能にも優れ、お客様のコスト低減にも貢献します。

酸化膜研磨用スラリー

ILDスラリーシリーズは、ヒュームドシリカを用いた酸化膜CMPスラリーです。一般的なコロイダルシリカスラリーでは実現困難な高研磨レートとスクラッチフリー・不純物低減を実現した業界標準のスラリーです。
ヒュームドシリカ以外の砥粒を用いたスラリーもございますので、お気軽にお問い合わせください。

• 独立発泡ウレタン

シリコンシリコン

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• 独立発泡ウレタン

テストシリコン
改行可能。

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• 不織布SUBA

テスト投稿
テスト投稿

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• 不織布SUBA

SUBA™

SUBA™パッドはシリコンウェーハやガラス基板、サファイア基板からGaN・SiC基板までさまざまな種類の基板に対応できる研磨パッドとして、高い性能と安定性・信頼性を発揮する不織布パッドです。様々な用途に対応できる幅広いラインナップで理想的な研磨仕上がりを達成します。

SUBA™シリーズは標準品だけで10種類以上のラインナップがあります。

ご相談頂ければ最適な仕様のものをご提案させて頂きますのでお気軽にお問合せください。

研磨パット研磨技術