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ダイヤモンドコンディショナー

IC1000™、MH、EXTERION™パッドなどのウレタンパッドは、ダイヤモンドコンディショナーによりパッド使用前のブレークイン、バッチ間のコンデショニングが必須となります。
CMP装置向けの4インチディスクタイプ、φ250～270ｍｍリングタイプ、ペレットのご紹介可能です。

IC1000™パッドは、出荷前にパッド表面にバフ掛けをするPCC加工(ブレークインフリー)パッドのご案内も可能です。PCC加工によりダイヤモンドコンディショナーのロングライフ可、ブレークインタイムの短縮の効果が期待できます。
卓上研磨機やウェーハ研磨機用ににオーダーサイズでのご案内も対応可能です。

Machplaner™

Machplaner™は、硬質難研磨物用のスラリーとして設計されています。高い研磨性能と良好な研磨面を実現します。
希釈性能にも優れ、お客様のコスト低減にも貢献します。

• スウェード

ソフトパッドSupreme™

Supreme™は主にシリコンウェーハの仕上げ工程、その他研磨対象における最終の傷取りやパーティクルの除去等を目的とした仕上げ用研磨パッドです。
研磨機の定盤径＋10～20mm程度を目安に直径をご指定下さい。定盤貼付け用の両面テープ付きで製作致します。

• 不織布SUBA

SUBA™

SUBA™パッドはシリコンウェーハをはじめ、LT/LN・SiC・GaN・セラミック・サファイア基板まで、様々な種類の基板に対応できる研磨パッドとして、高い性能と安定性、信頼性を発揮する不織布タイプの研磨パッドです。
お客様の様々なご要望にお応えできる幅広いラインナップで理想的な研磨仕上りを達成します。

• 独立発泡ウレタン

シリコンシリコン

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• 独立発泡ウレタン

テストシリコン
改行可能。

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• 不織布SUBA

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